烟台论坛网

标题: auto defect classification [打印本页]

作者: sonymd 时间: 2020-3-2 09:21
标题: auto defect classification
文章简介：第一次到这个论坛，不知道发这个版合适吗。想请教各位大牛，有没有人用过KL

第一次到这个论坛，不知道發这个版合适吗。想请教各位大牛，有没有人用过KLA-Tencor的DR-SEM系統做过这个瑕疵自动分类的，最近要用他们的机子做硅片上（没有pattern)的瑕疵自动分类，但是好像准确性很难达到，求大牛分享经验。多谢多谢

欢迎光临烟台论坛网 (http://www.goo0.cn/)