auto defect classification

sonymd

    文章简介：第一次到这个论坛，不知道发这个版合适吗。想请教各位大牛，有没有人用过KL



第一次到这个论坛，不知道發这个版合适吗。想请教各位大牛，有没有人用过KLA-Tencor的DR-SEM系統做过这个瑕疵自动分类的，最近要用他们的机子做硅片上（没有pattern)的瑕疵自动分类，但是好像准确性很难达到，求大牛分享经验。多谢多谢