關于用sentaurus仿真SiC器件的求助~~

cc敏

刚接触SiC器件仿真，无法进行B注入，
用implant Boron energy= 50 dose = 3e13 tilt=0 rotation=0
结果会报错 No implant table file for species Boron in material SiliconCarbide
求知道的指导下啊~~
另跪求 SiC_Vertical_JFET.gzp
         SiC-6H-2DpIGBT.gzp

lldccc

没人么...求指导啊...